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2017年05月01日

新製品

精密パターン検査装置をリリース

このたび株式会社SEITOKUは、精密パターン専用の検査装置を開発しました。
液晶パネルや半導体の製造技術・精度向上に伴い、ITO電極膜や基板上のパターンなどもどんどん微細化しています。
こういったパターン上での欠陥検出は、その微細さゆえに今まで困難とされてきました。
SEITOKUでは、⾃社開発の画像処理技術により、精密パターン上の欠陥を⾼速で検出できる検査装置を開発しました。
また、この検査装置では検査データの録画機能も搭載し、録画データを利用した検査設定値のシミュレーションも可能です。
今までにはない⾼性能な検査に加え、シミュレーション機能を使った検査設定の最適化により、品質保証ならびに製品の歩留まり改善にもご協⼒できる検査装置です。

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